Каталог Вакуумные камеры

Вакуумные камеры

Вакуумная камера с каналами охлаждения	Вакуумная камера с каналами охлаждения	Вакуумная камера	Вакуумная камера с оснасткой
Вакуумная камера с оснасткой	Камера на раме	Камера на раме 2	Карусель ННВ 6
Нестандартные фланцы	Алюминиевая вакуумная камера	Вакуумная камера	Вакуумная камера с охлаждением
Крышка для вакуумной камеры	Крышка вакуумной камеры (вид изнутри)	Карусель ННВ	Установка очистки тлеющим разрядом

Основополагающим звеном любой вакуумной установки является вакуумная камера, на которую устанавливается все обрабатывающее и измерительное оборудование, а так же средства позволяющие достичь необходимого вакуума. От качества изготовления камеры зависит результат процесса, который реализуется в тех или иных вакуумных установках. Вакуумные камеры производства ИТЦ Микрон удовлетворяют современному уровню качества и приводятся в полное соответствие потребностям наших клиентов. Все вакуумные камеры проходят испытания на натекание, а так же могут быть оснащены дополнительными опциями в соответствие с техническим заданием.

Вакуумные камеры используются в широком диапазоне изделий и технологий, например в таких как:

вакуумные электротермические печи;
установки магнетронного и дугового декоративного нанесения покрытий;
установки осаждения тонких пленок;
масс-спектрометрия;
установки электронно-лучевого распыления.

В вакуумных установках часто производятся процессы с большим выделением тепла, что требует применения вакуумных камер с возможностью охлаждения стенок и фланцев. Как правило, это имеет место при проведении CVD и PVD процессов, выращивания кристаллов, и, конечно же, в вакуумных печах. Для таких случаев мы предлагаем использовать вакуумные камеры с двойной стенкой, либо камеры с наваренными C-каналами для отведения тепла. Наиболее технологичным и дешевым способом охлаждения вакуумных камер, на наш взгляд, является использование встроенной рубашки охлаждения.

В качестве материала для изготовления вакуумной камеры часто всего выбирается нержавеющая сталь AISI 304, однако на сегодняшний день камеры и части вакуумных систем могут изготавливаться и из AISI 310, AISI 321, AISI 316 в зависимости от требований технологии. Для облегчения массы вакуумной камеры и упрощения ее механической обработки мы часто применяем сплавы алюминия, которые в некоторых случаях имеют еще и ряд преимуществ перед нержавеющими сталями, такие как более высокая теплопроводность, отсутствие углерода в составе материала, немагнитность, способность гасить вибрации и др… Более редко встречаются вакуумные камеры из меди и титана.

Высоковакуумная камера с медными уплотнениями СF